依托苏州工业园区产业平台基础，联合各产业载体、政府资源，共同建设世界一流的研发与产业化公共技术支撑平台体系。

围绕微纳制造、纳米新材料与器件、第三代半导体、纳米大健康四大领域，规划建设基础研究、应用研究、工程化中试、公共技术服务四大类支撑平台，打造服务区域产业、辐射全国的产业创新公共平台服务体系。

平台体系

微纳制造（MEMS）中试平台

MEMS中试量产平台是国内领先的商业化运作的6英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产基地，开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务，现有设备170余台套，形成了年产50000晶圆的批量生产能力。目前出货量排名全国前三，已服务70多家企业、200多颗产品，填补国内多个自主器件空白，成为中国MEMS产业的重要支撑平台之一。

为打破规模制约及进一步提升平台支撑能力，平台正积极进行6英寸升级及筹划8寸产线，主要用于氮化铝、PZT、氧化钒、AMR/TMR磁等新材料生产制造F-BAR滤波器、微镜、PMUT、非制冷红外探测器等，有效支撑5G通讯、智能传感、激光雷达、3D成像及VR/AR等产业发展。

国内领先的市场化、全开放6-8英寸MEMS中试平台

成功案例