依托苏州工业园区产业平台基础，联合各产业载体、政府资源，共同建设世界一流的研发与产业化公共技术支撑平台体系。

围绕微纳制造、纳米新材料与器件、第三代半导体、纳米大健康四大领域，规划建设基础研究、应用研究、工程化中试、公共技术服务四大类支撑平台，打造服务区域产业、辐射全国的产业创新公共平台服务体系。

平台体系

MEMS中试平台

MEMS中试平台位于苏州纳米城，是国内首个商业化运作的6英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产平台。平台开展包括硅基MEMS、以及氮化铝、PZT等化合物半导体产品工艺研发、中试、量产服务。现有设备200余台，形成了年产50000晶圆的批量生产能力。

经过多年在MEMS领域的耕耘，苏州纳米城MEMS中试平台打造了一支完整的高水平微纳加工技术团队，具备完整的工艺库及各种器件工艺匹配能力，业务覆盖西北、华北、华东、西南、华南等地，目前已服务100多家企业、400多颗产品，成为中国MEMS科技支撑最大的产线。

国内领先的市场化、全开放6-8英寸MEMS中试平台

成功案例