平台支撑

依托苏州工业园区产业平台基础,联合各产业载体、政府资源,共同建设世界一流的研发与产业化公共技术支撑平台体系。

围绕微纳制造、纳米新材料与器件、第三代半导体、纳米大健康四大领域,规划建设基础研究、应用研究、工程化中试、公共技术服务四大类支撑平台,打造服务区域产业、辐射全国的产业创新公共平台服务体系。

平台体系

微纳制造(MEMS)中试平台

MEMS中试量产平台是国内首个商业化运作的6英寸MEMS器件研发、中试和批量化生产基地,开展包括硅基MEMS、以及氮化镓等三代半产品工艺研发、中试、量产服务,现有设备170余台套,形成了年产50000晶圆的批量生产能力。目前出货量排名全国前三,已服务70多家企业、200多颗产品,填补国内多个自主器件空白,成为对中国MEMS产业支撑最大的产线。

为打破规模制约及进一步提升平台支撑能力,平台正积极进行6英寸升级及筹划8寸产线,主要用于氮化铝、PZT、氧化钒、AMR/TMR磁等新材料生产制造F-BAR滤波器、微镜、PMUT、非制冷红外探测器等,有效支撑5G通讯、智能传感、激光雷达、3D成像及VR/AR等产业发展。

国内首个市场化、全开放6-8英寸MEMS中试平台

成功案例

如有兴趣与MEMSRIGHT 中试平台开展洽谈或其它形式合作
请联系: 0512-67997145 余先生