智能传感器是数字经济重要“底座”之一。经过多年发展，苏州工业园区已成为国内产业链较完整、企业集聚度较高、人才储备和技术开发水平较领先的区域之一。就在不久前，《2022年智能传感器十大园区报告》发布，苏州工业园区位列榜首。

眼前这些直径不到两毫米的芯片就是敏芯自主研发的硅麦克风传感器，别看他们体型娇小，却集结了电路与机械两大传感器，通过屏蔽干扰，提升声音识别的准确性，目前该产品出货量位列全球第三。

苏州敏芯微电子技术股份有限公司董事长李刚介绍，因为MEMS技术是用的半导体的一个技术，它是一个批量化制造。像在一片8寸晶圆上，是有几万颗，这个一致性可能要提高至少一倍以上，传统麦克风基本需要的直径是6毫米或者4毫米，现在敏芯可以做到2.7x1.8毫米。敏芯是国内最早掌握MEMS和ASIC自主研发的企业，突破了国外的技术垄断。

作为国内最早成立的MEMS企业之一，敏芯在创立之初就坚持自主化和本土化战略，经过十多年的发展，企业已打通中国MEMS产业链，完成芯片设计、晶圆制造、封装和测试环节的基础研发工作，产品主要应用于消费电子、车载、医疗、工控等场景。

李刚表示，敏芯2007年成立的时候，国内是没有MEMS供应链的，纳米城提供了一个很好的中试平台，把园区的MEMS生态构建得很好，敏芯也就是立足于园区，才有这么好的发展。对于长期的战略，敏芯不是看一个产品的机会，还是看MEMS产业的机会，横向上要扩展更多产品。

凭借创新，敏芯站上全球舞台，而与企业一条马路之隔的微纳制造中试平台，则用“送到家门口”的服务，为产业发展、项目引进提供“加速度”。作为国内首个商业化运作的6英寸MEMS晶圆代工生产基地，该平台拥有170余套专业设备，目前已申请80多项工艺专利，服务了120余家企业，产出350多颗产品，填补国内多个自主器件空白。

苏州工业园区纳米技术产业研究有限公司微纳制造分公司技术总监叶斐表示，MEMS是一颗产品一条工艺路线，其实它对工艺的要求是非常高的，微纳制造中试平台现在是整个国内代工工艺种类最多的地方，所以它整个开发的相对的周期，包括整个成本的优势也是非常明显，这也吸引了很多不仅是园区的企业，还包括全国各地的企业，都会到平台来做一些需求。

创新载体、高端人才、产业链资源的频频加码，让苏州工业园区智能传感器产业走在全国前列。苏州纳米城作为工业园区传感器产业核心集聚地，目前入驻企业达500家，其中上市企业5家，国家高新技术企业107家，引进院士团队超10个。