两件专利获奖！纳米技术创新活力迸发

2021-12-20

近日，苏州市人民政府公布2021 年度苏州市优秀专利奖获奖名单，共评选出21件获奖专利，其中一等奖专利6个，二等奖专利15个。苏州纳米城2个企业专利获奖，苏州敏芯微电子技术股份有限公司“具有双振膜的差分电容式麦克风”获得一等奖，为苏州工业园区唯一荣获一等奖的专利；苏州东微半导体股份有限公司“一种沟槽型超结功率器件”获得二等奖。

知识产权是赋能创新发展的重要资源要素。苏州市知识产权（专利、版权）奖旨在为加快打造国内领先的知识产权要素集聚和保护高地，进一步激励我市知识产权创造、运用、保护工作，更好地支撑引领科技创新和经济社会高质量发展。

敏芯是国内最早成立的MEMS公司之一，在MEMS传感器芯片设计、晶圆制造、封装和测试等各环节都拥有了自主研发能力和核心技术，主导构建了本土化MEMS传感器全产业链，2020年成功登陆科创板，被誉为“中国MEMS芯片第一股”，也是目前国内唯一掌握多品类MEMS芯片设计和制造工艺能力的上市公司。“具有双振膜的差分电容式麦克风”创新性的首次通过第一振动膜、第二振动膜分别与背板形成构成差分电容的第一电容、第二电容，使第二振动膜的凹陷部通过背板连接孔与第一振动膜绝缘连接，有效解决了现有电容式硅麦克风灵敏度和信噪比低的关键、共性的行业技术难题。随着经营发展进入快车道，敏芯不断强化知识产权管理体系和制度，牢固树立“保护知识产权就是保护创新”的意识，打造MEMS顶尖IP团队，并将知产制度嵌入到行政、采购、研发、市场等各个环节中，覆盖全部知识产权及相关类型，按照专业制度进行制定、实施。今年10月，MEMS产业知识产权联盟成立大会暨第一届理事会在苏州召开，敏芯被投票选举为理事长单位。该联盟由敏芯等企业主导发起，在省、市知识产权局指导下组建成立，以知识产权为纽带，以专利协同运用为基础，整合政府、企业、服务机构等多方优质资源，促进统筹规划、资源互补、协同保护、品牌培育等方面工作。此外，敏芯还带头组建了MEMS专利池，收纳行业百余件专利，为下一步专利运营做准备，进一步激活MEMS行业知识产权市场。

东微半导体专注于高性能功率器件的研发与销售，在半导体功率器件领域拥有强大的自主研发能力，形成了多项核心技术与专利，并成功应用于功率器件产品之中，推动了创新技术的产业化。“一种沟槽型超结功率器件”包括源极、漏极、第一栅极、第二栅极、体二极管和体区接触二极管，体二极管与体区接触二极管串联连接，第一栅极通过栅极电压来控制第一栅极所控制的第一电流沟道的开启和关断，第二栅极与源极连接并通过源极电压来控制第二栅极所控制的第二电流沟道的开启和关断。该器件在关断时，能够大幅降低流经体二极管的反向电流，从而能够大幅降低体二极管内的少子载流子，使得沟槽型超结功率器件实现快速的反向恢复功能。

苏州纳米城高度重视知识产权工作，始终把知识产权视为推动产业发展的重要资源要素，在省市区知识产权部门的指导和支持下，围绕“国家专利导航纳米产业发展实验区”建设，积极探索发展新思路，扎实积累知识产权运营服务经验，创新提出“聚焦产业+服务企业+整合运营”相结合的服务模式，为纳米技术领域知识产权工作提供重要支撑，全力助推企业健康发展。